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   保守的高真空泵都在幾Pa范圍。因此前級(jí)泵必須預(yù)抽到這一壓力主泵才干開始工作。但直排大氣的前級(jí)泵抽至這一壓力往往需要較長(zhǎng)的時(shí)間，高真空機(jī)組往往需要三級(jí)機(jī)組的另一個(gè)原因歸結(jié)于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強(qiáng)。因?yàn)殡S著壓力降低泵的抽速在減小，特別是對(duì)于周期性抽氣的真空機(jī)組，對(duì)達(dá)到工作真空度的時(shí)間是有要求的預(yù)抽時(shí)間越長(zhǎng)，進(jìn)入工作真空度的時(shí)間也越長(zhǎng)，故增加一臺(tái)中真空泵與前級(jí)低真空泵配合，可在較短的時(shí)間達(dá)到主泵可以工作的壓力，這樣可以使系統(tǒng)盡快地進(jìn)入工作壓力，保證了設(shè)備的使用效率。

    羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能，同時(shí)在中真空范圍也有超強(qiáng)的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級(jí)機(jī)組的高真空機(jī)組。具體地講由于分子增壓泵耐壓高，所以可使前級(jí)泵易于處于高流量狀態(tài)；而分子增壓泵吸入壓力高，減緩了前級(jí)泵的預(yù)抽負(fù)擔(dān)。分子增壓泵可以在100-50Pa工作，前級(jí)泵從大氣到這一壓力，基本遵從每經(jīng)過時(shí)間壓力降低一個(gè)數(shù)量級(jí)的規(guī)律，因此，機(jī)組可以具有很高的抽氣效率。簡(jiǎn)化高真空機(jī)組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個(gè)優(yōu)勢(shì)。

    對(duì)于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備，也可適當(dāng)加強(qiáng)前級(jí)泵的預(yù)抽能力，進(jìn)一步縮短抽氣時(shí)間，由于預(yù)抽時(shí)間與整個(gè)排氣過程相比很短，所以前級(jí)泵的使用時(shí)間也很短，因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用，而這往往是非常現(xiàn)實(shí)的真空泵油在有空氣(或氧氣)及金屬催化劑的存在下，一定溫度下的氧化時(shí)間里，會(huì)呈現(xiàn)油品的酸值、粘度變化及生成沉淀物的狀況。會(huì)隨運(yùn)用過程而發(fā)作氧化作用，因此逐步生成一些醛、酮、酸類和膠質(zhì)、瀝青質(zhì)等物質(zhì)，氧化安定性則是抑止上述有利于油品運(yùn)用的物質(zhì)生成的性能。水蒸氣在緊縮過程中會(huì)凝結(jié)成水滴，并與泵混合構(gòu)成懸浮液，不只會(huì)使真空度降落，也能使泵腔與轉(zhuǎn)子生銹，破壞密封面，使泵的極限真空度降落。為此，防止水蒸氣對(duì)機(jī)械泵的污染很重要。

  真空機(jī)組防止的措施有：

    選用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵；裝油分別器、離心式分別器或油水分別器，將混有水的機(jī)械泵油中止處置，處置過的油再流入泵中運(yùn)用；運(yùn)用吸水性強(qiáng)的單調(diào)劑；運(yùn)用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸氣，同時(shí)還可以阻撓機(jī)械泵油向高真空室返流。